可提供藍(lán)寶石一切的加工,2寸3寸4寸測試級光學(xué)級襯底級藍(lán)寶石加工。單拋雙拋切割片研磨片。讓客戶100%滿意
1:? C-Plane藍(lán)寶石基板
這是廣大廠家普遍使用的供GaN生長的藍(lán)寶石基板面.這主要是因?yàn)樗{(lán)寶石晶體沿C軸生長的工藝成熟、
成本相對較低、物化性能穩(wěn)定,在C面進(jìn)行磊晶的技術(shù)成熟穩(wěn)定.
2:? R-Plane或M-Plane藍(lán)寶石基板
主要用來生長非極性/半極性面GaN外延薄膜,以提高發(fā)光效率.通常在藍(lán)寶石基板上制備的GaN外延膜是
沿c軸生長的,而c軸是GaN的極性軸,導(dǎo)致GaN基器件有源層量子阱中出現(xiàn)很強(qiáng)的內(nèi)建電場,發(fā)光效率
會因此降低,發(fā)展非極性面GaN外延,克服這一物理現(xiàn)象,使發(fā)光效率提高。
3:??圖案化藍(lán)寶石基板(Pattern Sapphire Substrate簡稱PSS)
以成長(Growth)或蝕刻(Etching)的方式,在藍(lán)寶石基板上設(shè)計(jì)制作出納米級特定規(guī)則的微結(jié)構(gòu)圖案藉以控制
LED之輸出光形式,并可同時(shí)減少生長在藍(lán)寶石基板上GaN之間的差排缺陷,改善磊晶質(zhì)量,并提升LED
內(nèi)部量子效率、增加光萃取效率。
此外,可按客戶要求加工定制藍(lán)寶石棱鏡、表鏡、透鏡、孔件、錐臺等各種結(jié)構(gòu)件。