擴散爐全自動控制系統(tǒng)是新一代擴散爐全自動系統(tǒng)，可實現溫度、推拉舟、MFC電磁閥等的全自動控制。無障礙工作時間大于8千小時。其控制精度及質量完全取代進口的同類產品。該系統(tǒng)操作方便、控制精確、穩(wěn)定可靠、價格合理，特別適合國人的操作習慣。?
<系統(tǒng)由DTC（數字溫度控制單元）、DPC（數字程序控制單元）和計算機系統(tǒng)。每個爐管都使用獨立的DTC和DPC控制，互不影響。四管擴散爐使用四臺DTC和四臺DPC，共用一臺工控計算機管理。工控計算機配套15″TFT高清晰液晶顯示屏。?
<控制系統(tǒng)使用window／XP操作系統(tǒng)，可選擇中文或英文操作界面。先進的HMI人機界面、菜單式管理、五級密碼、測量數據直觀顯示、可儲存數千條工藝曲線（每條曲線100步）等。式操作更方便、更可靠。該系統(tǒng)可廣泛應用在新擴散爐的升級改造?
<監(jiān)控軟件主要由權限設置、監(jiān)控視窗、設備組態(tài)、幫助彩單四部分組成。監(jiān)控視窗主由圖視界面、數控監(jiān)控界面、故障記錄界面、Recipe管理界面、Recipe編寫、數據去線記錄界面六個界面組成。
產品特點:
◆采用高強度的CPU處理器控溫CPU43P和CJI系列PLC，運行可靠控制精度高，具有自動分布功能?
◆采用進口PLC進行上下傳遞參數，傳遞速度快，運行穩(wěn)定?
◆?顯示部分采用工業(yè)控制機，操作方便，可靠，顯示各參數直觀，方便查看實時數據曲線和歷史曲線?
◆?所有軟件具備自動測溫區(qū)功能，具有事件記錄，超溫報警，氣體偏差報警，斷偶報警，過熱報警等功能?
◆?在1280℃單點穩(wěn)定性±0.5℃?
主要技術指標:?
◆?工作溫度:600—1290℃?
◆?恒溫區(qū)長度:1000mm?
◆?爐管口徑:可供4”、5”、6”片?
◆?氣路系統(tǒng):三路主管道HLC、O2、N2，質量流量計控?制，所有管道配置全部采用進口VCR接頭?
◆工作臺:采用層流水平凈化，凈化等級:100級，?
◆?臺面全部采用不銹鋼?