產(chǎn)品簡介
UPP/SAS03型藍寶石基片CMP漿料是江蘇天恒納米科技股份有限公司生產(chǎn)的新一代水溶性高純度膠體漿料,主要用于藍寶石高質(zhì)量平整化加工,尤其適用于粗拋。加工速率高,表面平整度、粗糙度達到國際先進水平,適用于各種加工方式,具有加工效率高、使用壽命長的特點,且光潔度高,懸浮性強,易清洗。
主要特點
UPP/SAS03型藍寶石基片CMP漿料用特選的納米SiO2水溶膠作為磨料,通過大粒徑硅溶膠的磨料作用和強化學作用,增加藍寶石拋光速率,配合絡合劑增強拋光液的平化作用,改進拋光液的流體力學性能,增強表面光潔度,降低其表面粗糙度,該產(chǎn)品拋光效率高,穩(wěn)定性強,后續(xù)工藝易于清洗,節(jié)約生產(chǎn)成本和提高產(chǎn)品合格率。
主要用途
主要用于藍寶石基片的高質(zhì)量平整化加工。