UPP/MS01、UPP/MS02型微電子專用活性劑是江蘇天恒納米科技股份有限公司生產(chǎn)的新一代半導(dǎo)體材料加工專用活性劑。它能有效將新加工表面的高能狀態(tài)降低為低能狀態(tài)，使得顆粒等污染物在表面長期控制在易清洗的物理吸附狀態(tài)，而不向難清洗的化學(xué)吸附狀態(tài)轉(zhuǎn)化，并在表面形成保護層，防止污染物的二次吸附，實現(xiàn)了把有害吸附轉(zhuǎn)化為無害吸附，是拋光、清洗工藝中不可缺少的添加劑。
主要特點
UPP/MS01、UPP/MS02型活性劑無金屬離子、溶解于水，對金屬離子有很強的螯合作用，且對酸堿溶液均有效，防止了堿、重金屬離子沾污片子而影響器件的電學(xué)特性，便于制備高純的半導(dǎo)體襯底鏡面。與美、日產(chǎn)品相比，能有效去除鏡面吸附微粒、有機物、金屬離子等各種污染物，而且該產(chǎn)品粘度低、高效、環(huán)保、無毒、無腐蝕。主要用途
用于硅材料研磨、拋光、清洗工藝中控制粒子吸附狀態(tài)，降低表面張力。